影像測量儀外表擦拭步驟：
1. 先用干細棉布或擦拭紙擦拭儀器外表，以擦拭其灰塵或油污等，小心注意其儀器外表勿受傷。
2. 再用干凈細干棉布沾上工業用酒精，擦拭儀器外表，尤其金屬及非金屬表面
影像測量儀鏡面擦拭步驟：
1. 先用拭鏡紙輕輕擦拭鏡面表面，勿用力以免傷及鏡面。
2. 再用棉花棒沾工業用酒精，輕輕擦拭鏡面表面，并需等酒精揮發后，再裝回去。
花崗巖表面擦拭步驟： 
1. 先用干細棉布或擦拭紙擦拭花崗巖表面，以擦拭其灰塵或測量后機件的油污等。
2. 再用干凈細干棉布沾上工業用酒精，擦拭花崗巖外表面，酒精具揮發性會自然蒸發。
3. 必要時，可使用花崗巖保養油再擦拭。
影像測量儀傳動部分：
分干磨擦部分及潤滑部分，干磨擦部分又有氣浮軸承及無牙絲桿傳動機構之區分。
干磨擦部分保養步驟：
1. 先用干細棉布或擦拭紙擦拭磨擦表面，以擦拭其灰塵或油污等。
2. 也可使用吹氣壺，將灰塵吹掉。
3. 必要時，可再用干凈細干棉布沾上工業用酒精或潤滑油，擦拭磨擦表面。